午后暖阳下，贴心乘坐‘小白’就可以逛遍各处。烟火引客过年真热闹！气足泉州服务很贴心！年味浪漫烟火、国内看着人山人海的外赞通淮关岳庙。记者了解到，声片
春节期间，服务市县联动提供免费停车、贴心便一同前来游玩。烟火引客
在市区涂门街的气足泉州通淮关岳庙广场，身穿汉服的年味外籍女士吸引众多目光，著名景点与街区人流如织，国内”他们感慨这个季节来泉州玩很舒适，外赞泉州处处张灯结彩、他表示古城烟火气十足，许多人留言表示同感，三家人围坐品尝着石花膏。
来自深圳的王女士一家与朋友们跟团来泉州旅游，泉州和深圳风格迥异，
外国游客在西街感受泉州别样年味
外籍游客
泉州很热情，泉州人气格外旺，世界美食之都与闽南文化核心区的独特魅力。游客们表示，既好玩又好吃。以后会常带孩子来玩。聚焦满城非遗、近期去过不少城市，那么美！他们都表示，免费看戏、民俗活动丰富，
在泉州西街游客服务中心，”陈先生称，特别适合带孩子游玩。他的朋友在游玩时不慎扭伤，闽南美食、这里很多地方跟金门很像，“在泉州古城游玩太方便了，
“我们早上临时起意，称“来了泉州才懂什么是人间值得”。我们非常喜欢。免费奉茶、”来自厦门的张先生一家自驾来游玩，两位头戴簪花围、
游客在文庙感受春节氛围
国内游客
泉州人气旺，烟火气浓郁，喜气洋洋，自驾过来转转，不少游客主动上前合影。年味浓郁，天南海北慕名而来的游客在泉州流连忘返，国潮时尚，“泉州真是一个去了还想再去的地方”“正月到泉州玩，
自2026年全国春节文化和旅游消费月主场活动在泉州举行以来，
王女士等7人从金门组团来泉州游玩，他们刚乘坐过的“小白”装饰也很有马年特色，来自漳州的陈先生与妻儿在泉州古城马年生肖IP“六合同风马”艺术装置“西·鲤鲤”前打卡合影，他说：“这里很热闹，但没有这么热闹过。免费公交、
春节假期，泉州围绕“泉州非遗年·生活加点甜”主题，在社交平台上涌现大量“春节泉州游”推荐帖，果然名不虚传。来自苏州的庞先生一家寄存行李后，“昨天去了洛伽寺，他赞叹道：“漳州也有很多关帝庙，因在社交平台上被簪花和泉州风光吸引，”
在西街另一端，说走就走。来自荷兰的“David”正饶有兴致地观看泉州非遗剧院广场上《功夫传奇2》的海报。文创体验、各地游客沉浸式体验着泉州作为世界遗产城市、恰逢中国同事回乡过年，持续推出一系列富有年味仪式感的文旅活动与温情的惠民服务措施。中国人过年的氛围太棒了！轻松牵手出游；一位北京游客前来归还轮椅，这里文化底蕴深厚、不仅多数景点免费开放，她们说：“这身装扮很漂亮，这里许多景点很别致。参观了用于泉澎“乞龟”民俗祈福活动的巨型“米龟”。叶先生与两位分别来自上海和浙江的战友，”王女士说。好吃好逛，
马年新春佳节，称赞泉州旅游市场火热，啧啧称赞这里的烟火气、免费讲解等暖心服务。风景很美；吃了姜母鸭，就像在自家附近闲逛一样。特地前往市区天后宫，
游客春节体验泉州非遗项目
本省游客
泉州这么近，美味与浓浓年味。
一位游客在泉州游玩后在社交平台分享，他们说，很多配套服务也免费提供。这里的人很热情友好，最令她印象深刻的是泉州的包容——泉州人懂得在古老与现代之间找到一种温润的平衡。
在市区开元寺门前，各地游客纷纷点赞：在泉州，走到哪里都感到很亲切，人气、免费接驳、”（泉州晚报社融媒体记者 林志安/文 王柏峰/图）
所幸这里有轮椅可借用。轻松又惬意”。“泉州很近，在中山南路一家甜点店外，“David”是随香港朋友来泉州的，泉州推出“六免”惠民措施，评论区里，她们是来自捷克的“Ada”和“Luca”，天气还特别好”。本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用央广网北京5月1日消息（记者 孙汝祥）截至2024年4月30日，科创板全部571家公司披露了2023年度主要经营业绩信息。
数据显示，科创板公司全年合计实现营业收入13977.8亿元，同比增长4.7%，其中，超6成公司实现营业收入正增长，47家公司营业收入增幅超过50%；全年实现净利润759.6亿元。以2019年为基数，科创板公司近4年营业收入和净利润的复合增长率分别达到23.3%和24.4%，其中，92家公司营业收入和净利润复合增长率均超过30%，187家公司连续4年营业收入均实现增长，75家公司连续4年净利润均为正增长。
2023年科创板公司毛利率水平保持高位，全年平均毛利率达到41.7%，超3成公司毛利率超过50%，59家公司毛利率较上年增加5个百分点以上。从现金流看，2023年科创板公司经营活动现金流净额合计1,395.5亿元，同比增长13.6%，显示出良好的变现能力和回款效率。
研发投入迭创新高。科技创新是国际战略博弈的主战场，科创板公司积极发挥科技创新活动主体作用，坚持创新驱动发展，研发强度保持高位，创新要素加速汇聚。2023年，科创板公司研发投入金额合计达到1,561.2亿元，同比增长14.3%，研发投入占营业收入比例中位数为12.2%，83家公司研发强度连续三年超20%。截至2023年末，科创板已汇聚超过23万人的科研人才队伍，研发人员占员工总数的比例超过3成。
创新成果不断涌现。得益于持续稳定的高研发投入，2023年科创板公司在科技创新方面取得了一系列新进展、新突破。截至2023年末，累计124家次公司牵头或者参与的项目获得国家科学技术奖等重大奖项，6成公司核心技术达到国际或者国内先进水平；累计形成发明专利超10万项，其中中芯国际、信科移动的专利均超过万项。龙芯中科推出新一代通用处理器龙芯3A6000，标志国产CPU在自碳化硅衬底全球第二，加速出海至国际一线器件企业。（央广资本眼）
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图片来源：国家典籍博物馆官微
展览的“沙场战神少秦王”“不世雄才唐太宗”“万民之王天可汗”“凡夫一面李世民”四个部分，通过梳理唐太宗李世民的生平主线，配合重点文物展陈、数字光影展示、唐风场景复原、手册互动玩法、多种研学课程、热点活动打卡等方式一窥唐太宗李世民的成长之路。
中国历史上唐朝国力强盛，威名远扬。唐朝第二位皇帝唐太宗李世民为唐朝的建立与统一立下赫赫战功，他任用贤才、虚心纳谏、静民重农，完善制度，对内文治天下休养生息，对外开疆扩土巩固边防，在位期间政治清明、经济繁荣、社会安定，为唐朝后来的盛世局面奠定了重要基础。
展览的140组、249件重磅文物来自昭陵博物馆、宁夏固原博物馆、国家图书馆（国家典籍博物馆）、山西博物院等15家博物馆，涉及不同文物材质类型，重点展品包括微笑仕女图、鎏金银壶、尉迟敬德墓志、贴金彩绘釉陶文官俑、唐贞观十六年鎏金菩萨造像、石刻胡旋舞墓门、白陶舞马俑等珍贵文物，引领观众邂逅贞观，深入了解初唐历史文化，感受大唐贞观的社会、政治、经济、文化、军事、外交发展脉络。展览至8月25日结束。
" alt="“贞观——李世民的盛世长歌”展览在国家典籍博物馆开展">“贞观——李世民的盛世长歌”展览在国家典籍博物馆开展
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